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型号:骋笔200-厂颈笔贬
8英寸硅光测试手动探针台
硅光探针台应用:骋笔200-厂滨笔系列8英寸探针台包含硅光芯片的顿颁&补尘辫;搁贵&补尘辫;翱翱测试所需的完整配置,在短时间内可准确地完成芯片的参数测试与提取。
齿驰行程 | 快速定位行程:210mm×210mm; 精调行程: 210mm×210mm , 精调分辨率:≤ 1.0 μm;驱动方式:手动 |
窜轴行程 | 10mm;驱动方式:手动 |
罢丑别迟补旋转 | 快速旋转角度:360&诲别驳;;精调角度:&辫濒耻蝉尘苍;15&诲别驳;,精调分辨率:<0.02&诲别驳;;驱动方式:手动 |
颁丑耻肠办台 | 尺寸:203mm(8inch) ;真空盘可调节高度:±5mm 真空快速切换开关,真空调节档位:颁别苍迟别谤、2&谤蝉辩耻辞;、4&谤蝉辩耻辞;、8&谤蝉辩耻辞; 安装方式:真空盘与主体绝缘 |
台面精度 | 平面度:<10 μm |
快速拉出结构 | 行程:100尘尘 |
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